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等離子表面處理儀具有哪些功能特性?

更新時(shí)間:2020-05-06       點(diǎn)擊次數(shù):1500
  等離子體就是指全部或部分離子化的氣體,它們有電子、離子,還包括激發(fā)分子、自由基和光子等高能活性成分,且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷總和*抵消。
 
  等離子表面處理儀過程中同時(shí)具有如下一些功能特性:
 
  1、等離子清洗:去除基體材料表面的無機(jī)物或弱鍵以及典型-CH基有機(jī)污染物和氧化物。主要特點(diǎn):只與材料表面納米級的厚度起反應(yīng),而對內(nèi)部無任何侵蝕,得到超高潔凈表面為下道工序做好準(zhǔn)備。
 
  2、等離子表面處理儀活化主要特點(diǎn):可使聚合物表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵,這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應(yīng)生成新的活性基團(tuán),從而增加表面能量,改變表面的化學(xué)特性,增強(qiáng)表面附著力、粘結(jié)力。
 
  3、等離子刻蝕:利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與基體材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成如CO、CO2、H2O等揮發(fā)氣體,從而達(dá)到蝕刻的目的。
 
  4、等離子表面處理儀涂層(接枝、沉積):兩種以上氣體(或單體)同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)腔體,氣體在等離子環(huán)境下會聚合。這種應(yīng)用比活化和清洗的要求更嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成,應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì)的涂鍍、防水鍍層等。
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